粒子計數器可將粒子大小與電壓相對應
瀏覽次數╃▩:151釋出日期╃▩:2022-11-17
粒子計數器主要是檢測各點的懸浮粒子是否超出潔淨區要求的範圍↟↟✘│·,如果是則有洩漏現象↟↟✘│·,需堵漏或更換↟•。這也是比較簡單準確的的操作方法↟•。過濾器安裝或更換後↟↟✘│·,必須對過濾器的安裝連線處進行檢漏↟↟✘│·,以確保潔淨室的潔淨度符合要求↟•。
不同粒徑大小的粒子經鐳射塵埃粒子計數器的光電系統轉換後↟↟✘│·,會產生不同幅度(電壓)的電脈衝訊號↟↟✘│·,粒徑越大↟↟✘│·,脈衝電壓越高↟•。訊號電壓與粒徑之間的關係↟↟✘│·,也叫轉換靈敏度↟•。對於給定的鐳射塵埃粒子計數器↟↟✘│·,粒徑大小與脈衝電壓是逐一對應的↟↟✘│·,例如某臺鐳射塵埃粒子計數器的轉換靈敏度為0.3μm對應69mv↟↟✘│·,0.5μm對應531mv↟↟✘│·,1.0μm對應701mv等↟↟✘│·,若鐳射塵埃粒子計數器檢測到一個脈衝為100mv↟↟✘│·,則這個粒子的大小肯定大於0.3μm而小於0.5μm↟•。鐳射塵埃粒子計數器是丈量大於即是某一粒徑的粒子數目的儀器↟↟✘│·,其內部電路就是統計大於即是某一電壓值的脈衝數目的電路↟•。對於上段中的例子↟↟✘│·,丈量空氣中大於即是0.3μm粒子的數目↟↟✘│·,在電路中就是統計大於即是69mv的脈衝的個數↟↟✘│·,丈量大於即是0.5μm粒子的數目↟↟✘│·,在電路中就是統計大於即是531mv的脈衝的個數↟↟✘│·,依此類推↟•。所以塵埃粒子計數器對塵埃粒子的丈量↟↟✘│·,主要靠轉換靈敏度這個引數↟•。
粒子計數器主要應用的是光散射原理↟↟✘│·,計數測定時利用光電倍增管接受塵埃粒子反射的光以測定其大小和數量↟↟✘│·,並加以分析累計及數字顯示↟•。實驗前要求溫度控制在18—26℃;相對溼度控制在45—65%↟•。室內測試人員不得多於2人↟•。針對室內不同潔淨度房間而言↟↟✘│·,靜壓差≥5Pa↟↟✘│·,潔淨區與非潔淨區之問靜壓差≥10Pa;對工藝過程中產塵量大的房間與其他房間應保持相對負壓↟•。